Sumitomo Heavy Industries
외국 언론 보도에 따르면, Sumitomo Heavy Industries 자회사 인 Sumitomo Ion Technology는 2025 년 초 시장에서 실리콘 카바이드 (SIC) 전력 반도체를위한 ION 이식 기계를 출시 할 예정입니다.SIC 공정에 사용되는 대부분의 장비는 전통적인 실리콘 생산 라인과 동일하지만 SIC의 경도가 높기 때문에 고온 이온 이식 기계, 탄소 필름 스퍼터링 기계, 대량 생산과 같은 특수 생산 장비가 필요합니다.-온도 어닐링 용광로 등. 그 중에서도, 고온 이온 이식 기계의 존재는 SIC 생산 라인을 측정하기위한 중요한 기준이다.
보고서에 따르면, 이온 임플란트 장비는 인 및 붕소와 같은 불순물 이온을 웨이퍼로 내려 전기 특성을 변화시킨다.실리콘 웨이퍼의 경우, 이온 이식 후에 열 처리가 수행되어 결정 성을 회복시킨다.그러나, SIC의 경우, 이온 이식 후 열처리를 통해서만 결정 성을 회복하는 것은 어렵다.일반적인 방법은 SIC 칩을 섭씨 약 500 도로 가열 한 다음 이온 이식 및 열처리를 수행하는 것입니다.복잡한 작동 공정으로 인해 SIC 반도체는 실리콘 반도체보다 낮은 수율의 문제가 있습니다.
이번에 Sumitomo Heavy Industries Ion Technology는 발사 된 제품의 ION 이식 방법을 개선하면서 SIC 품질을 유지하고 생산을 증가시킬 계획입니다.
기술 난이도가 높고 프로세스 검증이 어려운 요인으로 인해 Ion Implantation Machine 산업에는 경쟁 장벽이 높고 산업 집중이 높습니다.전반적으로 전체 시장은 주로 American Applied Materials Company와 American Axcelis Company에 의해 독점되어 있으며 전 세계 시장의 70% 이상을 차지합니다.
Trendforce Consulting의 최신 데이터에 따르면 SIC가 전력 밀도 및 효율성이 매우 중요한 자동차 및 재생 가능 에너지와 같은 응용 프로그램 시장에서 여전히 침투를 가속화하고 있음을 보여줍니다.전반적인 시장 수요는 향후 몇 년 동안 성장 추세를 유지할 것이며, Global SIC Power Device 시장 규모는 2028 년에 917 억 달러에이를 것으로 예상됩니다.
이번에 Sumitomo Heavy Industries Ion Technology는 발사 된 제품의 ION 이식 방법을 개선하면서 SIC 품질을 유지하고 생산을 증가시킬 계획입니다.
기술 난이도가 높고 프로세스 검증이 어려운 요인으로 인해 Ion Implantation Machine 산업에는 경쟁 장벽이 높고 산업 집중이 높습니다.전반적으로 전체 시장은 주로 American Applied Materials Company와 American Axcelis Company에 의해 독점되어 있으며 전 세계 시장의 70% 이상을 차지합니다.
Trendforce Consulting의 최신 데이터에 따르면 SIC가 전력 밀도 및 효율성이 매우 중요한 자동차 및 재생 가능 에너지와 같은 응용 프로그램 시장에서 여전히 침투를 가속화하고 있음을 보여줍니다.전반적인 시장 수요는 향후 몇 년 동안 성장 추세를 유지할 것이며, Global SIC Power Device 시장 규모는 2028 년에 917 억 달러에이를 것으로 예상됩니다.